化学灭菌法系指用化学药品杀灭微生物的方法。其杀菌机制可能是：作用于微生物核酸蛋白，使其变性、与微生物酶系统结合影响代谢或改变膜壁通透性致微生物死亡等。气体灭菌法是常用的化学灭菌法。
气体灭菌法系指利用化学药品形成的气体杀灭微生物的方法。常用的化学药品有环氧乙烷、气态过氧化氢、甲醛、臭氧等。采用气体灭菌法时应注意灭菌气体的可燃可爆性、致畸和残留毒性。
本法常用的气体是环氧乙烷，一般与80％一90％的惰性气体混合使用，在充有灭菌气体的高压腔室内进行。环氧乙烷分子易穿透塑料、纸板和固体粉末，可用于塑料包装的原料粉末、散剂、颗粒等固体药料及其他不能采用高温灭菌的物品灭菌。含氯物品以及能吸附环氧乙烷的物品不宜采用本法灭菌。
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